工廠低價出售3臺剛下產線  日本光弛真空鍍膜機

產品名：OTFC-1300DBI

型 式：1300DBI

產品參數(shù)：

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架轉速 10rpm to 50rpm(可變) 

光學膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式 

水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器 

蒸發(fā)源  電子槍2套  

離子源 17cmRF離子源 

排氣系統(tǒng) 機械泵2個擴散泵Polycold（或2個冷凝泵） 

 性 能

達到壓力 7.0×10-5Pa以下 

排氣時間  15分（大氣壓～1.3×10-3Pa） 

基板溫度 最高：350℃ 

工作條件

設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA  

水流量 140升/分以上 

空氣壓力 0.5MPa以上  

重量 約9000kg   

詳情歡迎來工廠看機