氬氣 （ar) 

包裝：采用40l、49l鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到4-10l的氣瓶中。
用途：用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。 
理化性質(zhì): 氬氣的性質(zhì)非常穩(wěn)定，既不能燃燒，也不助燃。氬本身無毒，但在高濃度時有窒息作用。當(dāng)空氣中氬氣濃度高于33%時就有窒息的危險。當(dāng)氬氣濃度超過50%時，出現(xiàn)嚴重癥狀，濃度達到75%以上時，能在數(shù)分鐘內(nèi)死亡。液氬可以傷皮膚，眼部接觸可引起炎癥。 
注意事項：密閉操作，提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴格遵守操作規(guī)程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。遠離易燃、可燃物。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物分開存放，切忌混儲。 一般不需特殊防護，當(dāng)作業(yè)場所空氣中氧氣濃度低于18％時，必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具。